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阿爾卡特ALCATEL分子泵的3種基本形式
阿爾卡特ALCATEL分子泵的3種基本形式
更新時間:2018-01-25 點擊次數(shù):1961
阿爾卡特ALCA分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。分子泵與油封式旋片泵和渦輪式干泵相比,工作環(huán)境更加清潔,而且可以達(dá)到*的真空度。但是,分子泵不能在大氣壓下工作,必須和其他能夠在大氣壓下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或渦輪式干泵)聯(lián)合使用。分子泵構(gòu)造復(fù)雜、價格昂貴,高速旋轉(zhuǎn)工作時會有振動。這種泵具體可分為:
1)牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量,被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵:靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復(fù)合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。
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